微細ステップ構造を有するガラス基板上に作製した無機薄膜EL素子の光干渉効果

摘要

従来の二重絶縁構造をもつ無機薄膜エレクトロルニネッセンス（EL）の光取り出し効率は光閉じ込め効果により10％未満と非常に低い。本研究では、周期的凹凸構造を設けた基板を用い、光取り出し効率の改善を試みた。凹凸基板上に作製したEL素子のELスペクトルは、幅の狭い複数のピークから構成されるスペクトルであった。これらのピークは、凹凸基板の凸上で形成された微細ステップ構造による回折によって引き起こされると考えられる。この回折効果は光取り出し効率の改善ができると思われる。