スイッチング電源回路のMEMS技術を用いた低リップル·高速応答制御方式

摘要

この論文では次世代マイクロプロセッサ用の高速応答·低リップル電源を実現する制御·回路方式を提案する．（i）負荷変動に応じてスイッチング電源回路内のインダクタンス値および容量値を可変にすることで，低リップル·高速応答を実現する．この可変インダクタ，可変容量をMEMS技術および回路技術で実現する方式を提案する．（ii）また，PWM制御の一部にサーボ制御を用いることで負荷変動に高速追従可能な手法を提案する．これらの提案手法は動作状態によりスイッチング電源回路内部の素子値を動的に変更することで定常特性·過渡特性両方の性能向上を図る方式である．シミュレーションによりこれらの原理確認を行った．