斜め方向淀み線流によるエッチング加工

摘要

多数の微細な穴を鋼板に加工するシャドウマスク等の加工でWet chemical etching (WCE)が用いられる．エッチングの進行は溶解反応で生成された物質が反応面近傍から除去される速さに依存する．本研究では，斜め方向淀み線流でのWCEについて，加工微細穴周辺の流動現象と物質輸送現象を数値的に調べる．淀み線流の流入角度λと淀み線と微細穴の相対的な位置関係S{sub}lとによって流動パターンは変化し，それに応じて修正シャーウッド数(Sh{sub}x){top}-も変動する．前報で調べた垂直流や水平流の場合と比較すると，修正シャーウッド数(Sh{sub}x){top}-は全般的に小さくなった．また，準定常的に加工形状の発展を追いかける計算を行い，加工形状が垂直流と水平流の場合の中間的なものとなることを示した．