プラズマ酸化Si探針を用いて作製した高保磁力FePt探針による高分解能MFM観察

摘要

昨年、高分解能探針の作製を目的として、高保磁力FePt探針をプラズマ酸化処理を施したSi探針を用いて作製し、熱処理時の合金化を探針表面に形成させたSiO{sub}2膜により防止することができたことを報告した。今回は、この高保磁力探針を用いて、種々の磁気記録媒体用の磁性薄膜を観察し、探針の分解能を評価した結果を報告する。