レーザプロービングパッドの作り込みによるLSI内部動作解析

摘要

OBICを用いたLSI内部配線の論理を特定する技術において、多層配線構造化、微細構造化したLSIに対して、確実に論理を識別するためにプロービング専用のパッドを提案する。 このパッドはLPP (Laser Probing Pad) と呼ぶ、P-Sub基板上に電気的に独立したN＋領域を設けたPN接合であり、任意の信号配線に導通させることで、そのLPPにレーザを照射したとき発生する光電流の有無を検出することで論理を判定することができる。 実験において、2μm{sup}2のLPPにHe-Neレーザ（633nm at 1mW）を照射することで数十μAの光電流値を検出できた。このLPPは0.01pF以下の容量を持つが、平均的な配線長に比べて無視できる大きさである。