Al局部陽極酸化サイズに及ぼすSf-MDC電極形状の影響

摘要

Sf-MDC（溶液フロー型微小液滴セル）とは，キヤビラリ先端に形成した液滴を試料表面に接することにより，液滴が接している微小な範囲のみで電気化学反応を起こすことができる電気化学セルである。Sf-MDCの主な特徴として，液滴の濃度が常に予定，試料に液済を接したまま移動可能等が挙げられる。これらの特徴を生かし，樹脂上へのライン状銅めっきの形成やめっきによる銅の2次元，3次元構造体作製についての報告がある。更にこの銅ラインは，電子回路の配線に使用可能な電気伝導度を有することも示されている0しかし，近年の電子機器の小型化にともない，さらに微小な額域において電気化学反応を生じさせることが求められている。反応面積札電極間距離と電極の形状により変化すると予想される。本研究でをもニトロセルロース樹脂を被礎することで対極の形状を変化した際の反応面積への影響を調査した。