陽極酸化したチタンメッシュによるイソプロピルアルコールの光触媒分解埼玉工大院，埼玉工大先端研

摘要

イソプロピルアルコール（IPA）は先端電子産業においてシリコンウエハなど基板材料の洗浄剤として多量に使用されているが，近年，低濃度のIPA且を含む排水の処理が問題となっている。これまで，当研究室では水溶液中における光触媒処理プロセスの開発研究を行ってきた.本研究では，金属チタン（Ti）線表面にアナターゼあるいをおレチルを形成させた後，白金（Pt）を坦持して調製した光触媒を用い，水溶液中でのIPAの光触分解反応について調べた。