表面力による表面機能の定量的評価

摘要

本稿で紹介するESF-5000（図1）は，当社の販売製品の主軸である電子線露光装置と硬さ計で培われた精密位置決め，変位計測，荷重制御技術を組み合わせ，新たに開発された表面力測定装置である。本装置によって，試料表面の濡れ性，摩擦摩耗特性，転写性，離型性，異物検査等の分野において新たな，有用で確実な評価指標を提供することが可能となってきた。