ソーラーパネル生産ラインにおける静電気管理

摘要

これまでの内容は，我々が半導体製造やFPD生産プロセスにて経験した静電気及びパーティクル管理のノウハウであり，FPDの大型化と薄型化が進み発展した今日のように，太陽電池の生産工程においても大型化と変換効率の向上により発展を遂げる．また，付加価値としてフレキシブルな形状や透明化が進み多様化することは明らかである．ソーラーパネル製品の付加価値向上と，生産の歩留まりを向上させるには除電と除塵は不可欠である．