自由空間光インターコネクションのためのアライメントフリー光学系構成技術

摘要

面倒なアライメント作業なしで自由空間光インターコネクションに利用される光学系を構成する手法として，光学系を通過した光により感光性樹脂を露光して入出力面上に光プラグやボンディングパッドを形成するアライメントフリー光学技術ついて述べた。我々の実験結果では，結像系の入出力面に設置されたボンディングパッドの横方向のアライメント精度は結像系の分解能と同程度の2.5μmであった。より分解能の高い光学系を用いれば，さらにアライメント精度を高めることは可能であろう。