産総研、レアアースを添加せずに窒化物で世界最高水準の圧電性能を実現、スカンジウム添加窒化アルミと同等レベルの性能の圧電材料開発

摘要

産業技術総合研究所と村田製作所が共同で、高価な元素を使わずに、窒化物として世界最高水準の性能をもつ圧電材料を開発した。今回、窒化アルミニウムに安価なマグネシウムとニオブを同時に添加することで、スカンジウム添加窒化アルミニウムと同等レベルの圧電性能を実現した。この性能は窒化物の圧電材料としては世界最高水準であり、レアアースを含まずに安価に製造できるため、次世代の高周波フィルターへの応用が期待される。また、膨大なセンサーが必要とされるIoTやスマートマニュファクチャリングなどのセンサーネットワークの実現に向けたキーデバイスとしての利用が考えられている。