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パルス放電を利用した成膜技術に関する研究-パルス条件と皮膜性状の関係

机译:脉冲条件与胶片性能与脉冲放电关系的膜形成技术研究

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摘要

これまでに,放電のパルス条件が,皮膜形成や皮膜特性に及ぼす影響について報告してきたが,比較的限られた条件のみであった.本報告では,放電のパルス条件である,放電電流(i{sub}e))と放電持続時間(t{sub}e)に着目して,これらの組合せを変えて成膜した皮膜の断面組織を比較することにより,放電パルス条件と皮膜性状との関係を調査した.
机译:到目前为止,已经报道了膜形成和涂层特征的脉冲放电条件的影响,但条件仅相对有限。 在本报告中,通过改变这些组合形成的膜的横截面结构,聚焦在放电电流(I {sub} e))和放电持续时间(t {sub} e),这是脉冲条件放电。通过比较,研究了放电脉冲条件与膜性能之间的关系。

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