高電圧パルスアシスト電解加工

摘要

電解加工はギャップ距離が大きく，微細加工には不向きとされていたが，近年50ns程度の極短パルスを用いればサブマイクロ加工が可能なことがErtl等により示された．しかし，これよりも幾分大きなサイズの加工には適用しにくく，その領域の加工精度向上が望まれる．ここでは通常の電解用低電圧パルスに高電圧パルスを間欠的に加える方式を開発し，その特性を通常のパルス電解加工などと比較した結果について述べる．