ナノ粒子塗布による粉塵付着防止効果

摘要

さらに基板表面に微細な凹凸を作ることによって基板表面への粉体付着量を大幅に低減し、粉体の付着を防止する効果もあることが実験的に確認された［2，3］。このような粉塵付着防止効果を、ガラス基板を用いて定量化し、何が粉塵付着防止効果をもたらしているのかを調べた。さらにその原因を明確にするために、遠心法を用いて粒子一基板間付着力を直接測定し、ナノ粒子コーティングによる付着力低減効果を定量的に評価するとともに、その効果の原因を理論的に検討したので解説する。