ОПРЕДЕЛЕНИЕ НИЗКИХ КОНЦЕНТРАЦИЙ ХЛОРА В ВОЗДУХЕ С ПОМОЩЬЮ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЕНСОРОВ

摘要

роводниковых оксидов металлов при детектировании микроконцентраций хлора в воздухе: NiO, WO_3, In_2O_3 при температуре 250-300°С. Наилучшими сенсорными свойствами по чувствительности, селективности и стабильности обладают пленки WO_3, In_2O_3. Однако пленки WO_3 имеют большее время релаксации (3 мин) по сравнению с пленками In_2O_3, для которых оно не превышает 30 с. Кинетические и стационарные значения относительной проводимости пленок In_2O_3 в зависимости от концентрации хлора в воздухе в интервале 0.01-0.7 млн~-1 укладываются на одну кривую. Это показывает принципиальную возможность определения концентрации хлора в воздухе по начальным скоростям изменения относительной проводимости пленок, что значительно сокращает время анализа с 40 с до 5 с при рабочей температуре сенсора 300°С. Изменение влажности воздуха в интервале от 40 до 80% не влияет на начальные скорости изменения относительной проводимости пленок In_2O_3 при работе в кинетическом режиме. Обсуждается механизм изменения проводимости пленок In_2O_3 при детектировании хлора в воздухе.