Metasurface-based patterned wave plates for VIS applications

Stock Carsten; Siefke Thomas; Zeitner Uwe

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Metasurface-based patterned wave plates for VIS applications

机译：基于元表面的VIS型图案波片

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We present the design and fabrication of metasurface-type patterned wave plates for VIS applications. The metasurface consists of a grating structure with periods much smaller than the addressed wavelength. By using character projection e-beam lithography for the fabrication, various shapes, orientations, sizes, and patterns can be realized within affordable exposure times. For the first demonstration, a pattern with different orientations of the grating ridges of quarter-wave plates for 532 nm wavelength is presented. (C) 2019 Optical Society of America

机译：我们介绍了Metasurface型图案波板的设计和制造，用于VIS应用。元表面由光栅结构组成，周期小于寻址波长。通过使用用于制造的字符投影电子束光刻，可以在经济实惠的曝光时间内实现各种形状，取向，尺寸和图案。对于第一演示，提出了具有四分之一波形板的光栅脊的不同取向的图案，用于532nm波长。（c）2019年光学学会

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来源
《Journal of the Optical Society of America, B. Optical Physics》 |2019年第5期|共6页
作者
Stock Carsten; Siefke Thomas; Zeitner Uwe;
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作者单位

Friedrich Schiller Univ Jena Inst Appl Phys Albert Einstein Str 15 D-07745 Jena Germany;

Friedrich Schiller Univ Jena Inst Appl Phys Albert Einstein Str 15 D-07745 Jena Germany;

Friedrich Schiller Univ Jena Inst Appl Phys Albert Einstein Str 15 D-07745 Jena Germany;

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正文语种 eng
中图分类光学;
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