酸化リチウムと酸化バナジウム（V）を添加した酸化チタン（lV）系セラミックスの感湿特性におけるヒステリシスの改善

摘要

湿度センサーは，食品·医薬品をはじめとする各種化学製品の製造工程，コンピューターなどの精密棟器製造工程，さらには医学?農学などの分野において幅広く利用されている．湿度センサー用材料としては右横高分子をはじめとして，セラミックスや半導体など，さまざまな材料が検討されており，実用化の際にはそれぞれの材料の特徴をいかした材料選択がなされている．なかでも，セラミックスほ化学的?物理的安定性に優れるため，高温·高湿のような過酷な雰囲気わ丁なけス温膏測定や管理に利用されてきた。