Automation eines spektroskopischen Ellipsometers mit Hilfe objektorientierter Techniken

摘要

Die Bestimmung der optischen Eigenschaften von Festkorpern spielt in verschiedenen Bereichen der Technik, wie etwa der Farbgebung, der Mikroelektronik oder der Kontamination von Festkorperoberflachen, eine wichtige Rolle. Fur diese Aufgabenbereiche wurde ein spektroskopisches "Rota-ting Analyzer Eilipsometer" automatisiert und mit einer leistungsfahigen objektorientierten Betriebssoftware ausgestattet. Die allgemeinen Grundlagen der Ermittlung der optischen Eigenschaften von Festkorpern werden beschrieben, das grundlegende Objektmodell der Automation wird erlautert und die implementierte lEIipsometer-Soft-ware vorgestellt sowie anhand einiger Messbeispiele verifiziert.