低濃度ジルコニア式酸素濃度計OX400

摘要

横河電機は，電子工業分野をターゲットに，ppmの低濃度から100％O_2の高濃度まで，1台で酸素濃度を測定できるジルコニア酸素濃度計OX400を開発した。実績のある細管のジルコニアパイプをセンサに使用し高速応答，高信頼性を実現した。また，ユーザによるセンサ交換が容易な構造を採用し，測定ガスの吸引にはポンプ方式に加えアスピレータ方式を用意し，メンテナンス性を向上した。本稿では，ジルコニア式酸素濃度計の原理，OX400の特長，構造，応用例を紹介する。