MEMS製造装置市場--今後は台湾·中国などアジア市場が牽引役になる

摘要

ここ数年、14～15％前後の成長を続けてきたMEMSデバイス市場は、世界不況の影響で2008～2009年に急激に減速する見通しである。そのためMEMS関連の製造装置業界でも当該分野の業績が落ち込hでいる企業が少なくない。このような中でMEMS業界に新たな動きが見られるようになり、注目されている。その一つは200mmウエハ化やTSV（Through Silicn Via＝シリコン貫通ビア）などの製造技術を巡る動きであり、もう一つはMEM二S製造の設備投資の新しい流れである。