Plasmaprozesstechnik zur Innenbeschichtung

摘要

Werkzeuge und Komponenten, die im Fertigungsprozess selbst oder zum Zweck der Reinigung mit aggressiven Stoffen in Beruhrung kommen, sind besonders verschleissgefahrdet. Bisher werden diese mit Antihaft-Beschichtungen aus Polytetrafluorethylen (PTFE) oder Teflon beschichtet.