Mit dem Schritt, bereits installierte ALD-Beschichtungsanlagen mit Vakuumpumpen "Cobra DS" von Busch nachzurusten, hat die Inficon AG voll ins Schwarze getroffen: Nicht nur, dass die Pumpen deutlich weniger Stickstoff fur den Spulvorgang verbrauchen, auch die versprochenen Standzeiten wurden deutlich ubertroffen.
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