Losung fur Bewegungssysteme

摘要

Etel stellt eine neue Mehrachsenplattform "Telica" vor, die hauptsachlich fur Backend-Anwendungen zur Halbleiterfertigung eingesetzt wird. Ihre duale Portalbauweise ermoglicht Bewegungen in den Freiheitsgraden X, Y und Z, wobei insgesamt acht Achsen gesteuert werden konnen. Telica erfullt die anspruchsvollsten Anforderungen von hochentwickelten Die-Bonding-Prozessen (Flip-Chip, Fan-Out, 3D-Stacked-Packages, μ-LED Bonding), Dosieranwendungen und mehr. Die Architekturen konventioneller Bewegungssysteme sind durch ihre Konstruktion entweder auf hohe Positioniergenauigkeit oder hohen Durchsatz optimiert.