総智総力でチャレンジ! DANGAN魂で乗り越えた!?エッチング装置冷却ガスエラ一撲滅活動?第5980回QCサークル大会(本部主催宜野湾)からの推薦

摘要

私たちは,半導体製造の8インチウェハのェッチング工程を担当しています。工場の増産計画に伴って,品質不具合低減30%が掲げられる中,アルミェッチング工程の設備不具合がワ—スト1であり,冷却ガスエラ一が,もっとも大きい要因となっていました。