机译:使用二氧化碳的“干式”处理在微电子工业中的应用
supercritical fluids; semiconductors; cleaning; etching; phoioresist; stripping.; drving; low-k; metal deposition.; CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION; SUPERCRITICAL-FLUID TECHNOLOGY; FLUOROCARBON FILMS; ETCHANT SOLUTIONS; PATTERN COLLAPSE; NICKEL FILMS; COPPER; CO2; SILICON; RESIST;
机译:使用二氧化碳的“干式”处理在微电子工业中的应用
机译:喷雾干燥的叶黄素的超临界二氧化碳提取物的伽马照射的万寿菊花:工艺优化,表征和食品应用
机译:结合智能技术与干法技术在中国水泥行业中应用的能源相关碳排放峰值的前景
机译:二氧化碳在食品和加工行业中的应用:现状和未来推力
机译:通过超临界二氧化碳处理的纳米微孔低介电常数薄膜的光谱椭圆偏振分析,适用于下一代微电子设备。
机译:关于分子筛13X上二氧化碳氮和氧的吸附平衡的数据用于模拟通过吸附过程从气态混合物中捕获二氧化碳
机译:加压二氧化硫在木材干燥过程中的应用。