精密機械用直動·メカトロ商品：リアルタイム補正による高真直度テーブル

摘要

現在，半導体の微細化に伴い，露光装置や欠陥検査機といった半導体製造装置に使われるテーブルはますます高い精度が要求されている．従来，テーブルの動作は現在位置から目標位置に移動するポイント·ツー·ポイントの動作が一般的であったが，最近はスループットの向上等の理由からテーブルの移動中に露光や検査作業をするスキャン動作が行われるようになった．（スキャン動作とは，XYの2軸テーブルにおいて，一方の軸はスキャン移動と呼ばれる一定速移動を行い，もう一方の軸は一定間隔で移動するステップ移動を行う．）そのため，テーブルの一定速動作や高い真直度が要求されている．このような要求に答えるため，微動テーブルによる真直度補正を応用した高真直度テーブルを開発したので以下に紹介する．