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机译:多功能MEMS电容式加速度计模块和芯片
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机译:使用绝缘体上硅-MEMS技术制造的MEMS电容式加速度计的小型化
机译:腔体芯片互连技术,用于MEMS-LSI多芯片模块中的厚MEMS芯片集成
机译:使用MEMS振荡器的电容式MEMS加速度计的温度补偿
机译:具有漂移补偿的高动态范围CMOS-MEMS电容式加速度计阵列
机译:一种基于玻璃 - 硅复合晶片的电容MEMS加速度计的新型制造方法
机译:没有拉入的大冲程电容MEMS加速度计