Optimierung der Schichtdickenmessung: Messungen auf kleinen Flachen und an schwer zuganglichen Stellen durchfuhren

摘要

Bei der zerstorungsfreien Messung von Schichtdicken stellen komplexe Geometrien mit sehr kleinen Messflachen, engen Radien, Nuten und Bohrungen eine besondere Herausforderung dar. Standard-Sensoren stossen hier aufgrund ihrer Form und Handhabung schnell an Grenzen.