Licht statt Lithographie: Lichtinduzierte Beschichtung hilft Kostensparen bei Forschungsdetektoren

摘要

Fur das Kernforschungszentrum CERN werden neue Siliziumdetektoren entwickelt, fur diese mussen 100.000 Lotpunkte pro Modul kontaktiert werden. Hierbei sind erhebliche Einsparungen moglich, indem lichtinduzierte Beschichtungen statt Standard-Lithographieverfahren zum Einsatz kommen.