机译:用于MEMS推进器应用的AL-TI多层薄膜微热分析的电热分析
Natl Univ Def Technol Coll Aerosp Sci &
Engn Changsha 410073 Hunan Peoples R China;
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Natl Univ Def Technol Coll Mech Engn &
Automat Changsha 410073 Hunan Peoples R China;
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机译:用于MEMS推进器应用的AL-TI多层薄膜微热分析的电热分析
机译:MEMS多层堆叠中金属薄膜的电偶腐蚀实验分析
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