Design of a packaging-friendly double-topology RF MEMS switch for space applications

Savin Evgeny A.; Kirtaev Roman V.; Zhukov Andrey A.; Didyk Pavel I.

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Design of a packaging-friendly double-topology RF MEMS switch for space applications

机译：用于空间应用的包装友好的双拓扑RF MEMS开关设计

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This article presents the results of the research, design and a series of manufacturing steps of an RF-MEMS switch to be used in space communication systems. Design and measurement results are discussed. Double-topology geometry for anodic bonding is presented.

机译：本文介绍了在空间通信系统中使用的RF-MEMS开关的研究，设计和一系列制造步骤的结果。讨论了设计和测量结果。提出了阳极键合的双拓扑几何形状。

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来源
《Microsystem technologies》 |2019年第1期|共5页
作者
Savin Evgeny A.; Kirtaev Roman V.; Zhukov Andrey A.; Didyk Pavel I.;
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作者单位

Bazovye Tekhnol LLC Moscow Russia;

Moscow Inst Phys &

Technol Dolgoprudnyi Moscow Region Russia;

JSC Russian Space Syst Moscow Russia;

JSC Russian Space Syst Moscow Russia;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词

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