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机译:使用位移放大电磁致动器的九虫机构初步研究
Tokyo Inst Technol Dept Mech Engn Tokyo Japan;
Electromagnetic actuator; displacement amplification; inchworm mechanism;
机译:使用位移放大电磁致动器的九虫机构初步研究
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机译:利用压电致动器结合机械振幅放大机构进行三维低频振动精密抛光微结构模具的初步研究
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