方形導波管を用いたマイクロ波大気圧ラインプラズマ生成

摘要

大気圧下において，2.45GHzのマイクロ波を用いたライン状プラズマ生成の実証を試みた．プラズマ生成には，マイクロ波導波管にスロットを設け，そのスロットから放射される漏えい波を利用した．スロット部に挿入される誘電体の形状や種類に着目し，試験的に検証することでライン状プラズマ生成を実証した．さらに，生成したマイクロ波プラズマはポリカーボネート（PC）を親水化可能であることが分かった．