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机译:通过等离子体辅助抛光,自由损坏的单晶金刚晶晶片造成无损高效抛光
Osaka Univ Grad Sch Engn Div Precis Sci &
Technol &
Appl Phys 2-1 Yamadaoka Suita Osaka Japan;
Osaka Univ Grad Sch Engn Div Precis Sci &
Technol &
Appl Phys 2-1 Yamadaoka Suita Osaka Japan;
Osaka Univ Grad Sch Engn Div Precis Sci &
Technol &
Appl Phys 2-1 Yamadaoka Suita Osaka Japan;
Osaka Univ Res Ctr Ultraprecis Sci &
Technol Grad Sch Engn 2-1 Yamadaoka Suita Osaka Japan;
Osaka Univ Res Ctr Ultraprecis Sci &
Technol Grad Sch Engn 2-1 Yamadaoka Suita Osaka Japan;
Natl Inst Adv Ind Sci &
Technol Adv Power Elect Res Ctr Dept Energy &
Environm 1-8-31 Midorigaoka Ikeda Osaka Japan;
Natl Inst Adv Ind Sci &
Technol Adv Power Elect Res Ctr Dept Energy &
Environm 1-8-31 Midorigaoka Ikeda Osaka Japan;
Natl Inst Adv Ind Sci &
Technol Adv Power Elect Res Ctr Dept Energy &
Environm 1-8-31 Midorigaoka Ikeda Osaka Japan;
Polishing; Single crystal; Surface integrity;
机译:通过等离子体辅助抛光,自由损坏的单晶金刚晶晶片造成无损高效抛光
机译:通过电化学蚀刻增强的CMP工艺对GaN(0001)的高效和无损坏抛光
机译:等离子辅助抛光中等离子氧化和磨料抛光工艺的优化,可实现4H-SiC的高效平面化
机译:通过使用树脂粘合的磨石,通过等离子体辅助抛光高度效率地锻造GaN
机译:用于微立铣刀制造的单晶金刚石和陶瓷的基于心轴的抛光:超高速微加工主轴的抛光特性和误差运动分析。
机译:等离子体辅助分子束外延在抛光钴箔上大面积生长多层六方氮化硼
机译:自由损坏的高效等离子辅助抛光20毫米方形大型马赛克单晶金刚石基板