Двухкоординатныи сканирующий стол с электромеханическими приводами на базе планетарных роликовинтовых передач для нанотехнологического оборудования

摘要

Представлен анализ выпускаемых специализированных координатных столов для нанотехнологического оборудования, результаты которого использованы в разработке технического проекта двухкоординатного сканирующего стола на базе планетарных роликовинтовых передач.