Об обобщенной структурно-параметрической модели пьезодвигателя наноперемещений

摘要

Построены обобщенные структурно-параметрическая модель и параметрическая структурная схема пьезодвигателя, определено влияние геометрических и физических параметров пьезодвигателя и внешней нагрузки на его динамические характеристики, получены обобщенные передаточные функции пьезодвигателя для пьезопривода нано- и микроперемещений.