Преобразование параметрических структурных схем пьезодвигателей нано- и микроперемещений при продольном пьезоэффекте

摘要

На основании решения волнового уравнения построена структурно-параметрическая модель пьезодвигателя, определено влияние геометрических, физических параметров и внешней Нагрузки на его статические и динамические характеристики в системе управления. Получены передаточные функции пьезодвигателя для пьезопривода наноперемещений и параметрические структурные схемы пьезодвигателя, выполнено преобразование параметрических структурных схем.