スリットコー夕ー投入ゥシ才ライティング搬送時間を短縮

摘要

ゥシォライティングは、スリットコーターの本格販売を開始し、塗工機市場に参入する。従来の上下ピン搬送方式ではなく、ワイヤーリフト搬送方式の採用によりリフトアップの動作時間を大幅に短縮した。基板の傷つきも抑えられる。ゥシォグループは露光装置を手がけており、同社がレジス卜の塗布工程に進出することでシナジーの創出やセット提案などにつなげる。