昭電／産総研／電中研、SiCエビタキシヤルウエハの量産化へ連携

摘要

昭和電工、産業技術総合研究所、電力中央研究所は炭化ケイ素（SiC）半導体デバイス実用化のボトルネックとなっている高品質なエビタキシヤルウエハの安定供給について、生産拠点の構築を目的に、その量産化のための技術開発を行う共同研究を開始する。 この研究では3インチウエハを7枚以上、4インチウエハを5枚以上同時に処理できる高品質エピタキシャル成長技術を実用機レベルで実証するほか、3年後をめどにウエハ特性（EPD）を数万／cm~2から数百／cm~2に向上させる。