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大日本印刷、バイオMEMSチップを共同開発~シリコン材料採用

机译:Daikyo Japan Printing,Bio MEMS芯片接头发达 - 硅材料采用

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摘要

大日本印刷は、東京大学の竹内昌治准教授の研究グループと微小電子機械システム(MEMS)の技術を応用したマイクロ流路チップを共同開発した。 このチップは半導体で使われるシリコン材料を用いており、基材上に微細な流路とくぼみをパターン形成した。 今回の成果を基に同社はバイオMEMSの試作·量産サービスを本格的に開始する。
机译:Dainippon印刷联合开发了一个微通道筹码,在东京大学应用了长汉j丸研究组,微电子系统(MEMS)技术。 该芯片使用半导体中使用的硅材料,并用细流路图和凹陷在基板上图案化。 基于此结果,公司在认真的情况下启动生物MEMS的原型和大规模生产服务。

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  • 来源
    《石油化学新報》 |2007年第4169期|共4页
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  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类 石油化学工业;
  • 关键词

  • 入库时间 2022-08-19 22:06:41

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