AsH3PH3B2H6アルミシンホスフィンジボランレーザーダイオード向けにホスフィン需要増期待

摘要

2017年の国内販売量は前年比10．7％減の10tで推移したとみられる。化合物半導体デバイス生産の落込みやインジウム·リン（hP）、ガリウム·リン（GaP）の使用増加で、アルシンの需要が下がっている。同ガスは米国産業衛生専門家会議（ACGIH）の許容濃度0．005ppmと厳しく、現場では扱いにくいガスとなってきている。ちなみに、除害処理では乾式が安定して除去できるとされる。