材料ガスのTMGで設備投資再燃

摘要

LEDをはじめとする化合物半導体の材料ガス、有機金属材科（Metal Organics·MO）への投資が再燃している。世界最大メーカーのアクゾノーベル（オランダ·アムステルダム）は2014年8月の稼働予定でMOの主力ガス、トリメチルガリウム（Trimethyl Gallium·TMG）を米国テキサス州ヒューストンで増強する。これに先立ちTMGめ原料であるトリメチルアルミニウム（Trimethyl Aluminum·TMA）　の生産設備を13年7月以降の完成予定で新設する。投資額、増強規模はともに明らかでない。