コンパクトで中高圧対応のハイフローダイヤフラムバルブ

摘要

半導体から一般産業用までバル ブ·継手のシステムを提案する。 NRDシリーズはRDシリーズを 一新した。NRMD自動バルブは BSGS，GS等の高圧ガス機器 向けにアクチュエータをスリム 化、新開発の高出力アクチュエー タとスプリングレスダイヤフラム 構造採用で安全性、高耐久化、パーテイクルフリーを実現した。