ダイヤモンド製造におけるガスのその他の用途

摘要

この他、ダイヤモンドとガスの使われ方はいくつかある。まず、低抵抗のダイヤモンドを得るため、フィラメントを2200°Cまで加熱して水素やメタンガスを熱分解することによりダイヤモンドを堆積する熱フィラメントCVD法において、水素で希釈したトリメチルボロンを添加することで高濃度ボロンドーピングができる。