新規製品、パラジウム膜水素ガス精製装置と「HEMS水素分析装置」

摘要

アップ·テック·ジヤパンはサエス·ゲッターズ·グループのサエス·ピュア·ガス社の精製装置、精製器の装置納入、保守サービスを中心とする事業会社である。今回は、次世代半導体SiC（炭化ケイ素）、DLC（ダイヤモンドライクカーボン）の高純度化·デバイスの高性能化に貢献するゲッター式の「モノトール超高純度ガス精製装置」及び、LED·OLED製品の高輝度化·長寿命化に貢献する「マイクロトールガスフィルター（精製器）／ファシリトールガスフィルター（精製器）」を実機展示する。