超精密微細加工における超平面創成の重要性

摘要

このような加工は優れた加工機の転写によって容易に達成が可能である。当社では、社内の加工施設を「オープンラボラトリー」として顧客に開放し、超微細加工などの加工支援を行っている（図7）。この加工施設では、前述の1ナノ同時5軸制御加工機のみならず、サブミクロンの形状精度·ナノオーダーの面粗さを狙うことが可能な超精密成形研削盤SGC-630や同時5軸制御マルチプロファイラー、大型超精密研削盤、ロール加工機、ハイレシプロ研削盤など20台程度を常設しており、測定設備も利用可能である。同施設で利用できる設備を表1、加工ワークを図8に示す。