PSII法により作製したSi-DLC膜とその熱的特性

摘要

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜によるコーティングは、各種材料に優れた特性を付与する方法として注目されている。 本稿では、立体物および大面積基材に対するコーティング法であるプラズマソースイオン注入（PSII）法を成膜法として用い、DLC膜に対しケイ素添加による密着性および耐熱性付与に関する研究を紹介する。