顕微レーザラマン分光装置LabRAMHR－800および分光エリプソメータUVISELの開発と今後の展開

摘要

(株)堀場製作所（以下、堀場製作所）が提供する分析·計測装置には、多くの分光分析装置がある。中でも、顕徴レーザラマン分光装置LabRAM HR－800および分光エリプソメータUVSISELは、非破壊·非接触で半導体·ディスプレイ·太陽電池における右横·無機材料·薄膜材料の表面分析を行う代表的なHORIBA Jobin Yvon社の分光装置である。ここでは、それぞれの装置の分析原理、特徴を述べるとともに、今後の製品展開について紹介する。