早稲田大学ナノテクノロジーリサーチセンター

摘要

早稲田大学の研究支援施設であるナノテクノロジーリサーチセンターの第1の特徴は、シリコン、ガラス、誘電体、金属、樹脂などの多様な素材を対象とし、基板サイズを選ばないナノマイクロ3次元加工技術を提供することである。第2の特徴は、企業での豊富な研究開発実績をもつ支援技術者が支援を行うことである。これらの特徴をベースに、早稲田大学の得意分野である、めっき法などの「電気化学反応を利用した加工支援」、および消費電力の少ないダイヤモンドトランジスタなどの「グリーンプロセスを利用した加工とそれを応用したデバイス機能計測支援」を行っている。