高速微細塗布装置

摘要

当社は、1990年よりフラットパネルディスプ レイ（FPD）の生産工程で発生した欠陥を修正す るパターン修正装置を販売し、多くのFPDメーカに採用いただいている。この装置のコア技術は、 先端径数10μmと非常に細いピンを用いた当社独 自の微細塗布技術であり、ピン先端に塗布材料を付着させ、ピンを対象物に接触または近接させることで材料を転写する。